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ML-ETCH: Mikrostruktur- und Mikrotexturätzen für gekrümmte Oberflächen

In Spitzentechnologien wie Halbleitern, optischen Instrumenten und biomedizinischen Geräten schreitet die Produktinnovation in den Mikrobereich voran. Eine zentrale technische Herausforderung für die industrielle Modernisierung ist die schonende, hocheffiziente und hochpräzise 3D-Mikrogravur von Materialien mit hohem Schmelzpunkt, hoher Härte und hohem Wert. Monos ML-ETCH bietet die Lösung.

Es integriert selbstentwickelte Femtosekundenlasertechnologie in Industriequalität und fortschrittliche Bewegungssteuerungssysteme. Durch die optimale Nutzung des Vorteils der zerstörungsfreien Bearbeitung ist es speziell für die Mikrostrukturierung und das Präzisionsätzen auf flachen und komplex gekrümmten Oberflächen konzipiert. Es überwindet Material- und Formbeschränkungen, setzt komplexe Mikrostrukturen in die Realität um und fördert Produktinnovationen maßgeblich.

❑ Mikrostrukturbildung & Ätzen gekrümmter Oberflächen

❑ Unregelmäßige Mikrostruktur der Lichtleiterplatte

❑ Ätzen von Halbleitersonden mit spezieller Form

❑ Deflektor-Mikrokanalbildung

❑ Ultrafeine Texturverarbeitung

    Produktmerkmale

    • Industrielle, anpassbare Femtosekunden-Laserquelle (2)

      Hochwertige, industrietaugliche, anpassbare FS-Laserlichtquelle;

    • Mehrdimensionale Strahlformungs- und Steuerungsfähigkeiten

      Dreidimensionale Strahlformungs- und Steuerungsfunktionen;

    • Echtzeitüberwachung von Strahlausrichtung und -qualität

      Ausgezeichnete mechanisch und thermisch stabile Anlagenbasis;

    • Überlegene, mechanisch und thermisch stabile Basisplattform

      Multifunktions-Steuerungssystem mit hoher dynamischer Ansprechzeit;

    • Hochdynamisches, multifunktionales Steuerungssystem

      Vollständig abgedichtete optische Pfadübertragungssystemstruktur;

    • Vollständig abgedichtetes Strahlführungs- und optisches Pfadsystem

      Präzisionsbearbeitung gekrümmter Oberflächen in mehreren Achsen;

    Produkt-Highlights

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    Submikron-Präzisionsmikrostrukturierung

    Kompatibel mit Metallen (Edelstahl, Kupferlegierungen, Wolfram, Molybdän, Gold-Platin-Legierungen usw.). Ermöglicht das Nuten und Gravieren im Mikrometerbereich auf gekrümmten Oberflächen. Keine Wärmeeinflusszone (WEZ), keine Grate, keine Umschmelzschichten. Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,2 μm. Weit verbreitet in Formen, Walzen, Lagern, Dichtungen usw. Chargenkonsistenz der bearbeiteten Formen/Werkzeuge ≥ 99,5 %, erfüllt die Anforderungen der industriellen Massenproduktion.
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    Selektives Abtragen dünner Schichten ohne thermische Beschädigung

    Nutzt die Kaltbearbeitungs- und berührungslosen Eigenschaften des Femtosekundenlasers. Ermöglicht präzises Ablösen dünner Schichten ohne thermische Beschädigung des Substrats oder Grate. Geeignet für die selektive Entfernung leitfähiger/dielektrischer Schichten auf wärmeempfindlichen Substraten (z. B. piezoelektrische Bauelemente, flexible Schaltungen) und die Herstellung mikrofluidischer Chips.
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    Oberflächenfunktionalisierung mit Mikrotexturierung

    Individuelle Mikrotextur-Designs. Verleihen Materialien Funktionen: Reibungsreduzierung, Hydrophobie/Hydrophilie, Soft-Touch, Antireflexion.
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    Breite Materialkompatibilität

    Löst das Problem, dass harte Materialien schwer zu ätzen und anfällig für Absplitterungen sind. Kompatibel mit harten, spröden Materialien mit hoher Wärmeleitfähigkeit (polykristalliner Diamant/PCD, Saphir, Wolframcarbid usw.). Weit verbreitet in optischen Komponenten, verschleißfesten Werkzeugen, Halbleitermasken usw.

    Technische Spezifikationen

    Verarbeitungsbereich

    Planar: 400 mm × 400 mm; Stereo: 150 mm × 150 mm × 100 mm

    Positionsgenauigkeit (X/Y/Z/B/C)

    ≤±1μm/≤±1μm/≤±1μm/≤±5 Bogensekunden/≤±3 Bogensekunden

    Werkstücktyp

    Planare, gekrümmte Oberfläche

    Minimale Linienbreite

    3 μm

    Oberflächenrauheit

    ≤Ra0,2

    Maßgenauigkeit

    ≤±2μm

    Genauigkeit des Verhältnisses von Tiefe zu Durchmesser

    ≤±0,3μm

    Umfassende Verarbeitungsgenauigkeit

    ≤±3μm

    Anwendungsbeispiele

    1

    Konvexe Halbkugelstruktur: Durchmesser: 0,23 mm, Rauheit: Sa

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    Femtosekundenlaserätzen konvexer Mikrostrukturen (45°-Neigung): Genauigkeit ±2 μm, Rauheit: Sa

    MONO Keramik-Schrägverzahnungsätzung

    MONO Keramik-Schrägverzahnungsätzung: Kegel steuerbar, Präzision bis zu 0,002 mm

    MONO Keramik-Dichtungsring-Ätzung

    Ätzung von MONO-Keramikdichtungsringen: Ätztiefe 20 μm ± 2 μm

    MONO Kontaktlinsen-Tampondruckplattenätzung

    Ätzung der Pyramidenstruktur: Breite oben: 40 μm, Tiefe: 0,16 mm, kein Einsturz an den Ecken.

    MONO Irisierende Walzenätzung

    Blindnutätzung auf Stahlwalzenwelle: Tiefe 55 μm ± 2 μm, hohe Konsistenz

    MONO Resin Bump Microneedle Structure Etching

    Femtosekundenlaserätzen konvexer Mikrostrukturen: Breite 46 μm, Genauigkeit ±3 μm

    MONO Walzenstrukturätzen

    Tiefenkontrolliertes Femtosekundenlaser-Nuten auf einer Rollenwelle: Genauigkeit: ±2 μm, Rauheit: Ra 0,2 μm

    MONO Wolframstahl-Rillenätzung

    MONO Wolframstahl-Rillenätzung: Tiefe 52 μm

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