Femtosekundenlaser-Mikrobearbeitung für Präzisionskomponenten zur Durchflussregelung

Bei industriellen Flüssigkeits- und Hochreinheitsgassystemen hängen präzise Durchflussregelung, Drucküberwachung und gleichmäßige Verteilung von drei missionskritischen Komponenten ab: Präzisionsgefertigte Mikrobohrungen in Flanschen, VCR-Drosselblendendichtungen (RO), Und kundenspezifische GasstromverteilerDiese Bauteile erfordern höchste Maßgenauigkeit, gratfreie Kanten und absolute Vermeidung von thermischen Schäden.

Die Rolle kritischer Komponenten: Warum Präzision wichtig ist

1. Präzisions-Mikrobohrungen für Flansche

Mikrobohrungen in Auslassflanschen, Drosselflanschen und Entlüftungsringen bilden das Rückgrat der Systemüberwachung und werden verwendet für Druckanklopfen, Entlüftungs- und Ablaufanschlüsse, Und LeckageerkennungDie

2. VCR-Drosselblendendichtungen (RO): Hochreine Durchflussregelung

A VCR-Drosselklappendichtung (RO) Es handelt sich um ein metallisches Dichtungselement mit einer präzisionsgefertigten zentralen Mikrobohrung. Es wird häufig in Halbleiter-Gasfiltern eingesetzt und ist von entscheidender Bedeutung für:

• Präzise Durchflussmessung bei der Lieferung von Gasen mit ultrahoher Reinheit (UHP).
• Druckreduzierung für kritische Gasschränke.
• Drosselung der Durchflussregelung Gewährleistung einer stabilen Gasverteilung.

Mono erreicht extrem enge Toleranzen (bis zu ±1μm)wodurch sichergestellt wird, dass die Unversehrtheit der Dichtfläche des Videorecorders niemals beeinträchtigt wird.

3. Gasteiler: Gleichmäßige Verteilung

Wird in Waferfertigungsanlagen und Analyselaboren verwendet, Gasstromteiler Erfordern eine extrem gleichmäßige Loch-zu-Loch-Übereinstimmung und glatte Kanten, um Turbulenzen und Verunreinigungen zu vermeiden.

Die versteckten Kosten der traditionellen Bearbeitung

Herkömmliche Methoden erfüllen oft nicht die für UHP-Anwendungen (Ultra-High Purity) erforderlichen Standards:

• Mechanisches Bohren: Anfällig für Werkzeugverschleiß und Grate, die die Dichtflächen des Videorecorders beschädigen.
• EDM: Es entsteht eine Wärmeeinflusszone (WEZ), und es bleiben Kohlenstoffrückstände zurück.
• Langpulslaser: Verursacht Umschmelzschichten und Mikrorisse, was zur Partikelbildung führt.
  
  

Der Mono-Vorteil: Femtosekundenlaserbearbeitung

Unser Kaltablation Das Verfahren entfernt Material mittels ultrakurzer Impulse (10−15 Sekunden) und bietet Folgendes:

1. Höchste Präzision

Wir produzieren durchgehend Mikrolöcher mit nahezu perfekter Rundheit und Submikron-Genauigkeit, was für VCR RO-Dichtungen unerlässlich ist.

Abbildung 1: Mit Mono gefertigte, hochpräzise 70μm Mikrolöcher.

2. Gratfrei, keine Gefahrenstoffe

Dadurch entfällt das sekundäre Entgraten und die Korrosionsbeständigkeit des Edelstahls 316L bleibt erhalten. Dies ist entscheidend für partikelfreie Leistung in Reinräumen.

3. Designflexibilität

Unterstützt beliebige Muster, radiale Anordnungen und Materialien wie Inconel, Hastelloy, Titan und Keramik.

Technische Fähigkeiten und Konformität

• Lochdurchmesser: 10 μm bis 1 mm (±1 μm Toleranz).
• Seitenverhältnis: Bis zu 10:1.
• Skalierbarkeit: Von der schnellen Prototypenentwicklung zur Massenproduktion.