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Ultraschnelles Laser-Mikrobohren: Präzisionsbearbeitung für jedes Material unter 2 mm

09.03.2026

Inhaltsverzeichnis

Die Herausforderung beim Mikrobohren dünner Materialien

Die Herstellung hochpräziser Mikrobohrungen in Materialien mit einer Dicke von unter 2 mm ist eine entscheidende Anforderung in der Medizintechnik, der Unterhaltungselektronik und der Halbleiterindustrie. Ingenieure stehen jedoch ständig vor einem Dilemma: Wie lässt sich höchste Präzision erreichen, ohne die Produktionseffizienz zu beeinträchtigen, und wie können empfindliche Materialien bearbeitet werden, ohne sie zu zerstören?

Ob es sich um wärmeempfindliche Polymere handelt, die sich verformen und verkohlen, oder um Metallfolien, die Zehntausende von 20-µm-Löchern erfordern – herkömmliche Methoden wie Mikroprägen, chemisches Ätzen und Nanosekundenlaser stoßen an ihre Grenzen. Sie hinterlassen Grate, Wärmeeinflusszonen (WEZ) und Umschmelzschichten.

Ultraschnelles Lasermikrobohren (Femtosekunden- und Pikosekundenlaser) überwindet diese Grenzen. Durch die Nutzung ultrakurzer Impulse ermöglicht es Kaltverarbeitungwodurch minimale Lochgrößen bis hinunter zu 1 μm in jedem Material, ohne jegliche thermische Schädigung.

Fortschrittliche ultraschnelle Bohrverfahren: Spiralbohren, Trepanieren und Perforieren

MONO nutzt hochentwickelte Strahlführungssysteme zur Ausführung verschiedener Hochleistungs-Perforations- und Bohrstrategien, die perfekt auf Materialien mit einer Dicke von unter 2 mm zugeschnitten sind:

  • Schlagbohren (Perforieren): Hochleistungsfähige, schnelle Impulse werden wiederholt auf einen einzelnen Punkt abgegeben. Ideal zum Bohren hochdichter Arrays bei extrem hohen Geschwindigkeiten.
  • Trepanation: Der Laserstrahl bewegt sich in einer Kreisbahn, um ein größeres Loch auszuschneiden. Hervorragend geeignet, um auch bei größeren Mikrolöchern perfekte Rundheit und glatte Kanten zu gewährleisten.
  • Spiralbohren: Der Laserstrahl bewegt sich spiralförmig nach unten in das Material. Diese fortschrittliche Technik ermöglicht eine präzise Steuerung der Konizität des Lochs (z. B. die Herstellung von trompetenförmigen oder perfekt zylindrischen Löchern) bei gleichzeitig hohen Aspektverhältnissen.

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Das Dilemma der Polymerverarbeitung: Erreichen der Kaltablation

Polymere (Kunststoffe, Makromoleküle) sind leicht, korrosionsbeständig und hochisolierend, wodurch sie für die medizinische Mikrofluidik und flexible Elektronik unverzichtbar sind. Allerdings sind sie bekanntermaßen schwer zu bearbeiten. Ihr Wärmeausdehnungskoeffizient ist zehnmal so hoch wie der von Metallen, und sie haben niedrige Schmelzpunkte.

Da Polymeren freie Elektronen fehlen, um Wärme schnell abzuleiten, verursachen herkömmliche Nanosekundenlaser eine starke thermische Ansammlung, die zum Schmelzen, Verziehen, Verkohlen und zu geometrischen Fehlern führt.

Femtosekundenlaser (1 fs = 10⁻¹⁵ s) liefern Energie so schnell, dass das Material verdampft, bevor Wärme auf das umgebende Kristallgitter übertragen werden kann. "Kalte Ablation" gewährleistet eine Wärmeeinflusszone von null, makellose Kanten und keine Beeinträchtigung der chemischen oder mechanischen Eigenschaften des Polymers.

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Vergleich: Sacklöcher in Polycarbonat. (A) Ein Nanosekundenlaser verursacht sichtbares Schmelzen und thermische Schäden. (B) Ein Femtosekundenlaser hinterlässt eine perfekt ebene Oberfläche mit vernachlässigbarer Wärmeeinflusszone.

Die 20-µm-Grenze durchbrechen: Hochdichte Metalllocharrays

Für Anwendungen wie Verneblersiebe, Medikamentenverabreichungsgeräte und Präzisionsfilter stehen Ingenieure vor einer enormen Herausforderung: Tausende von hochdichten 20μm Mikrolöchern in Metallfolien (wie Edelstahl, Titan oder Wolfram) gratfrei und mit hohem Durchsatz zu bohren.

  • Chemisches Ätzen: Dicke Materialien können nicht verarbeitet werden. Bei zu hoher Lochdichte ätzen die Chemikalien zu stark und zerstören die strukturelle Integrität.
  • Mikroprägung: Mechanische Stifte brechen bei einer Größe von 20 μm sofort ab, und der physikalische Aufprall hinterlässt unweigerlich Grate.
  • EDM (Elektrische Entladungsbearbeitung): Zu langsam für Massenanordnungen und hinterlässt fatale Umschmelzschichten und Mikrorisse.

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Der Femtosekunden-Durchbruch: Mithilfe der Mehrstrahl-Parallelverarbeitung können ultraschnelle Laser Hunderte von Mikrolöchern pro Sekunde bohren. Durch die sofortige Verdampfung des Metalls wird Folgendes erreicht:

  • Höchste Präzision: Minimaler Lochdurchmesser bis hinunter zu 2 μm mit einer Genauigkeit von ±1 μm.
  • Hohes Seitenverhältnis: Bis zu 10:1, wodurch dickere Folien für stärkere Filtergewebe möglich sind.
  • Makellose Qualität: Oberflächenrauheit Ra ≤ 2μm, rasiermesserscharfe Kanten, keine Umwandlungsschichten, wodurch die Notwendigkeit einer Nachbearbeitung entfällt.
  • Anpassbare Geometrien: Mit präzise gesteuerten Kegeln lassen sich mühelos kreisförmige, quadratische oder komplexe unregelmäßige Formen bohren.

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Bewährte industrielle Anwendungen von MONO

Wir bieten hochqualitative Dienstleistungen im Bereich ultraschnelles Laser-Mikrobohren, -schneiden und -ätzen auf Mikrometerebene sowie kundenspezifische Anlagen für die Massenproduktion an.

5.1 Medizinprodukte und Implantate

Biokompatibilität und Präzision sind in der Medizintechnik unerlässlich. Die Lösungen von Danse Technology gewährleisten strukturelle Integrität ohne thermische Schäden.

  • PI Medical Katheterbohrung: Bohren dünnwandiger Polyimid- (PI) und PEEK-Rohre. Ergebnis: Unsichtbare Wärmeeinflusszone, keine Beschädigung der gegenüberliegenden Wand und perfekt glatte Innenwände ohne Schmelzrückstände.
  • PDMS-Zellfiltrationsmembranen: Hochdichte Anordnungen von 8,3 μm (±1 μm) großen Löchern. Ergebnis: Perfekt gleichmäßige Verteilung ohne jegliche Verunreinigung durch Fremdkörper, entscheidend für die Zellfiltration.

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5.2 Flexible Unterhaltungselektronik

Da Geräte immer kleiner und flexibler werden, treiben Femtosekundenlaser die Miniaturisierung voran.

  • Zuschneiden von Leiterplatten mit Glasgewebe: Unterstützt komplexe Innenrundungsdesigns mit grat- und karbonisierungsfreien Kanten, wodurch ein Nachpolieren entfällt.
  • ePTFE-Flexible Leitungen: Erreicht eine Schnittfugenbreite von 0,046 mm (±1 μm) ohne Ausfransen der Fasern und erhält so die Flexibilität des Materials.
  • Schneiden von leitfähigem Gewebe: Schneidet Verbundfasern und Metallbeschichtungen sauber, ohne die leitfähige Schicht zu beschädigen, und gewährleistet so eine stabile elektrische Leistungsfähigkeit für Wearables.

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5.3 Funktionelle Mikroformen und 3D-Strukturen

Mit ultraschnellen Lasern lassen sich Mikro-Nano-Strukturen gravieren, um funktionelle Oberflächen zu erzeugen. Dies ermöglicht eine hochpräzise Massenproduktion mittels Spritzguss.

  • PDMS-Mikronadelarrays: Ätzt direkt komplexe 3D-Strukturen (einschließlich verstellbarer Kegelspitzen) mit einer Präzision von ±1 μm und einer Höhenkonstanz von >99 %. Ideal für schmerzfreie Blutzuckermesspflaster.
  • Polyimid-Bump-Strukturen: Erzeugt 26 μm (±2 μm) hohe Erhebungen mit einer Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,2 μm, ideal für flexible Mikrosensoren.

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Abschluss

Die ultraschnelle Lasermikrobohrung – unter Verwendung fortschrittlicher Trepanier-, Spiral- und Perforationstechniken – hat das Präzisions-Effizienz-Paradoxon für Materialien unter 2 mm grundlegend gelöst. Durch die Nutzung echter Kaltbearbeitung eliminiert MONO thermische Schäden, erweitert die Grenzen der Polymermikrobearbeitung und durchbricht die Grenzen der Herstellung hochdichter Metallarrays.

Schluss mit Graten, verzogenen Materialien und langen Produktionszeiten. Setzen Sie Ihre innovativen Designs mit den industriellen Femtosekundenlaserlösungen von MONO in die Realität um.